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半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)風(fēng)淋室的應(yīng)用
現(xiàn)今我國(guó)已是全球第三大電子信息產(chǎn)品制造國(guó),電子信息產(chǎn)品已經(jīng)滲透到我們生活的各個(gè)角落,包括通信、醫(yī)療、計(jì)算機(jī)及周邊視聽(tīng)產(chǎn)品、玩具、軍工用品等。從產(chǎn)業(yè)鏈上來(lái)看,包括電子元器件產(chǎn)品、IC、配件、電子中間產(chǎn)品(如車(chē)載產(chǎn)品)、終端產(chǎn)品。電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展必然會(huì)帶動(dòng)起相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,無(wú)塵車(chē)間的風(fēng)淋室就是其中的一種重要設(shè)備。
半導(dǎo)體材料(semiconductormaterial)是導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體與絕緣體之間的物質(zhì)。半導(dǎo)體材料是一類(lèi)具有半導(dǎo)體性能、可用來(lái)制作半導(dǎo)體器件和集成電的電子材料,其電導(dǎo)率在10(U-3)~10(U-9)歐姆/厘米范圍內(nèi)。在電子行業(yè)中半導(dǎo)體材料的使用十分廣泛,大部分的電子元器件都使用到半導(dǎo)體材料。
半導(dǎo)體材料有以下共同特點(diǎn):
1.半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體與絕緣體之間
2.半導(dǎo)體受外界光和熱的刺激時(shí),其導(dǎo)電能力將會(huì)有顯著變化。
3.在純凈半導(dǎo)體中,加入微量的雜質(zhì),其導(dǎo)電能力會(huì)急劇增強(qiáng)。
半導(dǎo)體材料提純是發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品品質(zhì)量的一個(gè)突出問(wèn)題。加工環(huán)境的潔凈度由多方面的因素決定,因素之一進(jìn)入潔凈的人員,工作人員凈化設(shè)備為風(fēng)淋室,風(fēng)淋室是經(jīng)高效過(guò)濾器過(guò)濾的潔凈空氣從噴嘴噴出,吹落工作服上的灰塵,含塵空氣經(jīng)粗效過(guò)濾器被風(fēng)機(jī)吸入,加壓后流過(guò)高效過(guò)濾器再?gòu)膰娮靽姵觯绱搜h(huán)。風(fēng)淋室都裝有定時(shí)裝置,工作人員按壓?jiǎn)?dòng)按鈕后,即可進(jìn)入風(fēng)淋室并關(guān)門(mén)吹淋,一定的設(shè)定時(shí)間之后風(fēng)淋自動(dòng)停止。這時(shí),工作人員即可進(jìn)入潔凈室。
不難看出風(fēng)淋室的使用對(duì)于高精度,高質(zhì)量電子產(chǎn)品的加工生產(chǎn)有著重要作用。
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